2025-11-28
半導(dǎo)體潔凈室設(shè)計需嚴(yán)格遵循國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)及《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》。設(shè)計過程應(yīng)基于風(fēng)險管理理念，統(tǒng)籌考慮工藝需求、環(huán)境控制、運(yùn)行安全等要素。潔凈室等級需根據(jù)工藝要求確定，通常核心區(qū)域要求ISO 3-5級，溫濕度控制精度需達(dá)到±0.1℃和±1%RH。
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工信部備案號：